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空氣彈簧的剛度值 空氣彈簧的剛度有限元模型中每個空氣彈簧的剛度初值賦給[k0]，即ki,j=[k0],j=1，其中ki,j表明第j個迭代氣浮震動控制系統(tǒng)中第i個彈簧的剛度值；估計氣浮震動控制系統(tǒng)中所有空氣彈簧的剛度值，可根據(jù)用以支撐的空氣簧的直徑和高度及其定位閥的部位來決定。或是依據(jù)傳統(tǒng)方法的數(shù)值模擬結果確定，氣浮震動控制系統(tǒng)中所有空氣彈簧的剛度為[k0]。在此項發(fā)明中，全部空氣簧的剛度初值取值給空氣簧的以上估計剛度[k0]，即ki,j=[k0],j=1，其中ki,j表明第i個扭簧在第j次迭代里的剛度值； 施加重力荷載開展靜力測算，獲得每個空氣彈簧的偏移ui,j，即ui,j代表第j次迭代中第i個扭簧的偏移；在具體工程中，空氣彈簧在氣浮震動控制系統(tǒng)的工作過程中，根據(jù)主動泵設備不斷打氣和放氣，終達到設置的定位閥部位，達到平衡狀態(tài)。在此項發(fā)明中，空氣簧的剛度檢測是依據(jù)相關標準和目前方式應用分析有限元軟件開展模擬的。從空氣簧規(guī)范高度開始，對氣浮平臺施加重力荷載，其中重力荷載大小為空氣彈簧的設計荷載，隨后獲取出每個空氣簧的偏移ui該重力荷載下的氣浮平臺。 根據(jù)實際氣浮震動控制系統(tǒng)，確定每個空氣彈簧在均衡狀態(tài)下的偏移[u]，從而確定平衡狀態(tài)的支撐軸力為ki,j+1(u0-[u]);假定以上第三步重力荷載作用下空氣簧在氣浮平臺里的形變與每個空氣簧在均衡狀態(tài)下的形變假如形變一致，則每次測算每個空氣彈簧支撐反沖力等于均衡狀態(tài)下的支座反沖力，即fi,j=ki,j(u0-ui,j)，而fi,j=ki,j+1(u0-[u])，則可以獲得每個空氣簧的-值，